二手 KEM / KOKUSAI VR-70 #9157351 待售

KEM/KOKUSAI VR-70是一种高性能的掩模和晶片检测设备，设计用于光掩模和晶片的检测。它执行多个检查，包括光学检查、缺陷分类、缺陷计数、印刷、平整度、模具表面和晶圆平整度测量。该系统采用先进的高分辨率图像形成单元，以极好的重复性和准确性获取光掩模或晶圆表面的实时图像。然后用超高速激光成像机和快速模具级检测算法处理获得的图像的缺陷位置和分类。KEM VR-70提供高速检测速度，吞吐量为3,000晶圆/小时。该工具采用波长为532 nm的波束成形技术，以高达250帧/秒的帧速率获取图像，图像质量分辨率高达75 nm。然后对获取的图像进行高级晶片表面分析,以进行缺陷检测、分类和计数。它可以检测和分类缺陷,如故障、图样和打印错误,并具有很高的准确性和可靠性。此外，KOKUSAI VR-70资产提供了一个自动化和用户友好的操作员界面，使用户能够高效设置测量、分析结果和确认质量。该模型还采用了线性衍射光栅扫描设备（LDSS），从不同的打印尺寸提供稳定、高分辨率和可靠的晶圆平面度测量。该系统能够提供精确的表面振动和倾斜测量，以满足对表面拓扑的严格要求。综上所述，VR-70是一个先进的掩模和晶圆检测单元，为光掩模和晶圆表面的检测提供了高性能、准确性和可靠性。它配备了先进的高分辨率成像机、超高速激光成像工具和模具级检测算法，使资产能够快速准确地检测、分类和计数晶片表面的缺陷。该模型还具有自动化和用户友好的操作员界面以及用于精确表面拓扑测量的线性衍射光栅扫描设备（LDSS）。