二手 KLA / ICOS CI 5150 #9279505 待售

KLA/ICOS CI 5150是用于半导体加工的最先进的掩模和晶圆检测设备。它旨在对采用先进光刻技术生产的芯片上的关键工序区域进行高速、自动的检查。该系统配备了一个先进的CCD成像单元，可捕获分辨率高达每像素25微米的图像。然后,机器执行一系列高级图像处理技术,包括使用滤镜识别潜在缺陷。然后利用缺陷检测算法对图像进行分析和评估，对发现的缺陷进行检测、分类和测量。该工具可以同时检查多达128个掩模和晶片,从而实现高通量生产高容量芯片。KLA CI 5150包括一个集成显微镜资产，允许检查小至0.25微米的芯片特征。此外，检查模型还配备了独特的对比度调整功能，使设备能够检测到尺寸或亮度差异很大的缺陷。ICOS CI-5150还包括旨在提高可用性的附加功能。该系统包括易于使用的图形用户界面（GUI），为操作员提供对缺陷图像的实时查看和分析。此外,该设备还配备了智能自动对齐功能,使机器能够将复杂的模式与芯片上的目标模式对齐。该工具设计效率极高，使其能够保持高吞吐量，满足半导体芯片生产的严格要求。这一点，加上它的经济性，使得KLA CI-5150一个有吸引力的解决方桉，在半导体生产过程中检查和验证蒙版和晶片。