二手 KLA / ICOS CI 8250 #293602014 待售

KLA / ICOS CI 8250
製造商
KLA / ICOS
模型
CI 8250
ID: 293602014
Inspection systems TnR.
KLA/ICOS CI 8250掩模和晶圆检测设备是一种全面、高性能的自动化检测解决方桉。它专为掩模和晶片应用而设计,使用高级高分辨率摄像机和动力双轴运动级来扫描和检测微电子设备中的缺陷。检测是半导体器件制造的关键因素,KLA CI 8250采用先进的模式识别技术,以确保高精度和重复性。每台设备都会逐步进行检查,首先只需对每个零件进行成像,然后识别边缘和其他特征,然后再进入详细的检查阶段。该系统具有一整套特性和功能,可确保高性能和可靠性。晶圆和掩模可以同时读取和分析,两台相机各提供1.2倍和5倍的放大倍率,最大精度。在此过程中,还可以随时调整聚焦,以提高精度。然后,一个复杂的模式识别算法将运行检查过程。该设备可检测微小缺陷、死点和其他问题,晶圆中的问题降至1 µm,掩模应用中的问题降至0.14 µm。ICOS CI-8250还包括一套软件工具,通过质量指标、产量分析和其他数据指标改进流程。这些高级功能使机器能够以高精度和可重复性检测到亚微米级别的各种缺陷。该工具提供静态和动态检查,后者允许在检测到缺陷时进行多次迭代;这为各种产品的质量保证提供了有力的验证。除了高级检查功能外,ICOS CI 8250还提供自动配方创建和安全的测试数据管理功能。用户界面采用简单、直观的设计,便于设置和利用资产。该模型符合所有相关安全标准,并与广泛的半导体工艺兼容。总体而言,CI-8250 Mask and Wafer Inspection Equipment是一种先进的自动化解决方桉,用于准确、可重复地检测半导体零件中的缺陷。它具有广泛的功能,包括高分辨率摄像机、亚微米检测和多级检测过程,加上用于质量保证和安全测试数据管理的高级软件功能。
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