二手 KLA / ICOS CI 8250 #9110005 待售

製造商
KLA / ICOS
模型
CI 8250
ID: 9110005
Inspection system.
KLA/ICOS CI 8250是一种自动化的掩模和晶圆检测设备,设计用于高容量、高精度地执行关键半导体处理步骤。KLA CI 8250采用最新的图像处理和缺陷检测技术的前沿组合,能够快速、精确地识别蒙版和晶片上的缺陷。通过在制造过程中及早检测和纠正错误,系统可以帮助降低与延迟返工和产量损失相关的成本。ICOS CI-8250配备了一个先进的光学单元,具有先进的无穷大校正/复色/平面图校正物镜,用于忠实采样高分辨率线空图样网格,这对于提高缺陷检测的准确性至关重要。其可自定义的照明特点是具有可变区域的照明模式,使得面罩和晶圆缺陷检查具有很大的灵活性和最佳的均匀性。CI-8250能够通过集成一些特定于设备的缺陷测量来执行高精度缺陷测量。内置的高精度3D检测技术可以以前所未有的精度测量到70 nm以下的设备特征,从而实现最佳的识别和分类。该机还支持柔性掩模/晶片对齐,以提高效率,并能够识别和对齐具有30nm覆盖精度的图样类型。ICOS CI 8250强大的分析功能可以消除来自不同来源的复杂专有数据的噪声。该工具通过将强大的预测算法与从制造现场的多个来源收集的过程数据结合起来,实现了预测分析。这提供了对未来设备性能的深入了解,从而实现了主动解决策略。预测分析还可以帮助识别、分类和分类设备级缺陷,以优化产量结果。该资产还支持XML、JSON和MQTT等标准Web语言,允许其与外部系统之间无缝数据交换。它还与包括JTAG、IEEE1532标准版2在内的主要软件兼容。它还得到优先支持和严格的工厂认证流程的支持,以实现最高的服务质量。总而言之,可靠全面的CI 8250是高容量、高精度的掩模和晶圆检测的理想选择。它以极高的精确度测量和评估掩模/晶片,并能够进行预测分析以进行高效和有效的设备检查。
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