二手 KLA / ICOS CI 8250 #9113513 待售

KLA/ICOS CI 8250是为半导体制造商设计的自动化、基于图像的掩模和晶圆检测设备。它为用户提供了一个全面的解决方桉，以确保晶圆和掩模质量。该系统采用基于激光干涉仪的共焦成像技术，并采用鲁棒性算法，产生亚微米分辨率的图样缺陷。该单元包括许多组件，以帮助晶圆和掩模检查更加准确和高效。它采用了最先进的模式识别软件、用于精确对准和聚焦定位的三维机动物镜、用于测量反射光反射率的激光干涉仪以及用于捕捉图像数据的高分辨率CCD相机。KLA CI 8250针对高性能和持续吞吐量进行了优化。它能够生成速度和精度都很高的二维图像。可以调整图像的旋转和放大倍率，以匹配所关注的晶圆特征和区分缺陷。机器可以识别两种类型的缺陷-开路缺陷、模式断裂、闭路缺陷或模式元素之间的重迭。ICOS CI-8250提供了多种图像处理工具,如对比度增强、锐化和边缘检测,以提高所获取图像的质量。然后,可以使用增强的图像更精确地识别和分析缺陷。通过使用假色映射、水平轮廓绘图、直方图分析等多种分析技术，工具可以准确测量和报告缺陷特征。总体而言，KLA CI-8250是检测和分析晶片层和掩模层缺陷的极好的自动化检查资产。其先进的图像增强功能和分析技术为后处理数据和生产信息提供了高效的解决方桉,可用于减少产品停机时间和提高生产质量。