二手 KLA / ICOS CI 8250 #9124473 待售
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KLA/ICOS CI 8250是一种全自动、先进的检查设备,专为精确的掩模和晶圆检查应用而设计。它配备了先进的光学器件、高分辨率的彩色成像,以及自动化的探测站,使其能够快速检测和纠正缺陷。KLA CI 8250融合了机器学习技术,使其能够适应不断变化的条件,最大限度地减少误报,提高吞吐量而无需运营商干预。检查系统装有一个多路复用彩色成像装置,配备四个同时的高速彩色相机,分辨率为2048 x 1536像素。集成的蓝色LED光源提供均匀的亮度,有助于提高成像性能。成像机能够检测到广泛的掩模和晶片缺陷,包括颗粒、划痕、空隙和金属膜裂纹。该工具还检查直通和线缘粗糙度,使其能够识别和纠正这些类型的缺陷。ICOS CI-8250具有高速探测站,使其能够在微缺陷投入生产之前捕获它们。车站设有双轴电动舞台和高清摄像头。图像资产能够在一个位置捕获每个晶片的四个图像,在一秒内最多捕获八个图像。高速扫描过程可确保高质量图像,并为模型提供准确的缺陷定位信息。检测设备采用先进软件供电,使其能够快速准确地检测和纠正缺陷。该软件结合了机器学习算法,使其能够适应光学系统或晶圆特性的变化。该单元使用算法根据从以前的检查运行中收集到的数据优化参数,以获得更好的吞吐量。此外,软件还允许操作员轻松创建定制的检查配方。为确保质量和降低成本,CI-8250采用了一系列内置的质量控制功能。它具有集成的数据分析能力和智能拒绝算法来减少误报拒绝。它还具有强大的错误检测机,帮助消除生产中的错误。此外,该工具的培训模块还为用户提供了有关如何操作资产和解释结果的详细说明。KLA CI-8250是一种高度可靠和精确的检测模型,旨在满足要求苛刻的掩模和晶圆检测应用的要求。先进的光学设备、成像设备和自动探测站,以及机器学习技术和数据分析功能,使其能够快速准确地检测和纠正缺陷。内置的质量控制功能进一步提高了系统的效率,确保生产产出在规格之内。
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