二手 KLA / ICOS CI 8250 #9156475 待售

KLA/ICOS CI 8250是为大批量半导体生产而开发的掩模和晶圆检测设备。该系统采用非接触式光学成像技术,放大倍数从5倍到800倍不等。这使得设备能够检测到尺寸低至25纳米的缺陷。该机器还具有获得专利的双光激光照明（DLI）功能,能够检测上下文缺陷,包括图样或故障。该工具还包括多种软件功能。它有软件，可以自动识别蒙版或晶片上的特征，识别典型的缺陷，然后相应地拒绝或接受晶片。此资产可以准确检测一系列模式和特征,包括串联、隔离或随机分布的模式和特征。它还具有多视图缺陷审查和缺陷计数功能。KLA CI 8250更进一步的功能包括全自动晶圆对准模型，以及自动对焦、曝光和蒙版倾斜功能。这样可以确保功能能够有效对齐,并且成像设备在检查时保持对晶片或掩模的完美聚焦。ICOS CI-8250中包含的软件包括可实时检测和分析缺陷的在线成像分析（OIA）系统,以及用于快速、准确自动缺陷分类的直接缺陷识别（DDR）单元。CI-8250是为最苛刻的半导体生产环境设计的高性能检测机。它能够快速准确地检测小缺陷，既可用于生产线，也可用于研究实验室。其广泛的放大倍率、DLI功能和软件功能使其成为最先进的晶圆和掩模检测系统之一。