二手 KLA / ICOS CI 9450 Rev. 5 #9016183 待售

KLA CI 9450 Rev.5是一种面罩和晶片检测设备，设计用于检测多晶材料对准和控制中的表面缺陷和缺陷。适用于半导体表面过程检测，可检测小至5 nm至大不规则缺陷的孤立非周期性缺陷。CI 9450采用精密的高分辨率光学系统,具有四Pixel™技术专利,具有卓越的信噪比性能。这有助于提供更好的信号与后台对比度,并增强高分辨率缺陷检测能力。设备配备的目标范围从长工作距离（LWD）到高数值孔径（NA）。这使得即使是最具挑战性的工艺条件也能进行高质量检查。该计算机由基于Windows的软件套件提供支持,用于数据的操作和管理。其中包括直观的用户界面、强大的图像分析算法和自动化功能。通过各种基本和高级功能,包括缺陷检测、分类、审阅、报告和排序,可以方便地进行图像分析。一套完整的晶圆独立统计过程控制（SPC）工具可用于高效的数据分析和故障安全操作。CI 9450还具有一个精密的五轴级机器人一通检测，能够高速运行，减小振动。智能产量映射技术通过自动优化视场和覆盖率来确保最高正常运行时间。该工具还提供双轴级运动控制和交叉轴漂移补偿,以提高精度。总体而言，ICOS CI 9450 Rev.5是一种高性能的掩模和晶圆检测资产，能够检测到极小的缺陷。它提供先进的光学和图像处理功能、功能强大的基于Windows的软件套件,以及用于机器人单通道检查的五轴舞台。这些功能结合在一起,使CI 9450成为研究和生产应用的理想解决方桉。