二手 KLA / ICOS CI 9450 #146762 待售
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KLA/ICOS CI 9450是世界级的掩模和晶片检测设备,利用先进的成像技术和强大的软件工具检测半导体抗蚀剂和晶片上的缺陷。KLA CI 9450可在手动和自动模式下运行,提供卓越的准确性和可靠性。该系统配备了高精度的纺纱台和背光成像,允许对直径达150毫米的样品进行检查。ICOS CI-9450利用161个线扫描传感器获得专利的多光谱成像功能,以极高的精度收集、分析和解释关键掩码和晶圆特性。它具有先进的图像稳定功能,还包括固态空气承载级,它可以高速扫描芯片,从而实现较低的总体拥有成本。该单元的高级用户友好控件使浏览机器功能和查看结果成为一个简单、直观的过程。该工具的核心组件是KLA Opto-Flow技术,它是一种成像处理器,可实时呈现掩码和晶圆测量结果,其精确度高于其他机器。它具有功能丰富的Mask Design File Editor,它提供了用于设计特征模式的直观图形用户界面,并允许轻松编辑和优化Mask。ICOS CI 9450由一个名为ICOS PME(模式测量引擎)的软件包供电;该强大的软件使资产能够快速、准确地处理和分析从掩码和晶圆样品中获取的数据。它提供了一套全面的产量诊断和过程控制工具,以及改善材料反应性和缺陷检测的工具。检查结果以图形和数字格式在CI-9450的21英寸TFT触摸屏上提供,并且可以轻松传输到任何兼容的计算机。这有助于数据的比较,并提供对结果的精确分析。内置查看器可帮助用户快速分析大量图像和数据。CI 9450是广泛的掩模和晶片检查的完美解决方桉,它提供了易于使用的全面模型,可提高工艺产量、生产率和可靠性。
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