二手 KLA / ICOS CI 9450 #9156476 待售

KLA/ICOS CI 9450是专门设计用于半导体光刻的光掩模和晶片的高精度成像和分析的掩模和晶片检测设备。该系统使用先进的光学技术作为其成像和分析策略的一部分，包括激光照明、先进的光学和计算机控制的舞台机构。该装置采用4百万像素相机，具有高分辨率成像能力，可精确观察光掩模和晶片上的细线特征。它采用六象限环形照明机，在整个视野中提供精确、均匀的照明。光源和准直仪便于选择和控制散射照明和激光照明角度和强度。91百万像素探测器阵列提供明暗场模式的高分辨率成像。这样可以精确测量关键的电气特性尺寸。高分辨率单色ccd相机也用于检查晶圆上的地址图样。探测器阵列还允许以各种照明角度和比例捕捉图样的图像。该工具还包含了许多高级算法，以提供对掩码或晶圆图像的详细分析。这包括光学字符识别、低对比度增强、低曝光检查和图像锐化。该资产还具有许多用于分析图像的自动化过程。这些包括自动晶片分类、自动缺陷识别、自动故障芯片检测和自动聚焦扫描。模型还可以生成缺陷检测报告。除成像和分析外，该设备还可用于预生产口罩验证和工艺控制。它还允许晶片与掩模进行比较，以最大限度地提高效率和准确度。总之，KLA CI 9450系统是一种精密、精密的掩模和晶片检测仪器。利用先进的光学技术和算法，提供高分辨率成像和半导体光刻模式的详细分析。此外,它还集成了各种自动化流程,以进行高速和准确的数据分析。