二手 KLA / ICOS CI 9450 #9159845 待售
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KLA/ICOS CI 9450是晶圆和掩模检查的自动化光学检查设备。它配备了先进的光学、电子和软件控制平台，让用户能够精确测量到亚微米级别的特性。KLA CI 9450设计用于执行广泛的自动光学检查任务,例如检测几何缺陷、晶圆表面缺陷、过度蚀刻特征和测量线宽。它既可用于制造环境，也可用于晶圆测试环境。该系统由几个组件组成，包括一个目标炮塔、放大镜、光源、相机和图像处理软件。目标炮塔的放大范围为10倍至250倍，可支撑超过11个目标。它以每秒2.5转的最高速度运行，而且非常精确，可以精确测量和分析最小的特征。光源装有LED，可提供400纳米（nm）至900 nm的波长范围，使用户能够检测到各种缺陷，包括金属污染物、光致抗蚀剂碎屑、颗粒以及其他晶圆和掩模表面缺陷。这些相机利用4百万像素的CMOS（互补金属氧化物半导体）成像装置，以5.4米μ像素大小拍摄图像，最大分辨率为3,000 dpi（点数/英寸）。另外，使用多个摄像头，每个FOV（视场）为3mm，机器能够在一次拍摄中查看整个晶片。然后通过专有的成像和重建软件处理所检查的图像。此软件允许工具检测任何缺陷并对其进行量化以进行进一步分析。它为用户提供各种视觉辅助，如缩放、轮廓线或成像，以及其他参数如对比度、亮度、超分辨率、极性、方向等设置。综上所述，ICOS CI-9450是一种自动化、高精度、高速的检测资产。它旨在提供精确的测量和出色的图像质量。其强大的光学、成像和软件支持提供了一个健壮可靠的检测平台，适用于制造和检测目的。
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