二手 KLA / ICOS CI 9450 #9159855 待售
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KLA/ICOS CI 9450是用于半导体、显示器和微机电系统（MEMS）行业的最先进的掩模和晶圆检测设备。它提供高分辨率成像功能、自动化缺陷检测、测试站点和分类库之间的比较以及计量功能。这个单元提供了广泛的检查，包括光掩模、SEM（扫描电子显微镜）、散射测量、临界尺寸和迭加测量。它的电动分选器以快速、可复制的方式将面膜和晶片移入显微镜进行成像和检查。其高分辨率提供了对这些基板上各种特征和缺陷的详细成像。KLA CI 9450配备了自动化缺陷检测和分类算法，能够快速识别视觉和非视觉缺陷。这台机器还提供了预制测试站点和图书馆站点之间的比较和关联，允许复杂的缺陷检测和分类。它还可以识别肉眼看不到的特征级缺陷,否则无法检测到这些缺陷。ICOS CI-9450还具有计量功能,可快速准确地测量掩码和晶片上的各种特征,如线宽、线长和角度测量。其自动对焦控制机构还能实现快速、准确、可重复的测量。CI-9450先进的成像、自动化缺陷检测、比较和计量功能使其成为检测和分类各类基板上最困难缺陷的有力工具。这些特性加上出色的成像分辨率和自动分选器，使其成为高端掩模和晶圆检查的理想工具。
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