二手 KLA / ICOS CI 9450 #9159881 待售

KLA/ICOS CI 9450掩模和晶片检测设备是用于半导体器件制造的掩模和晶片质量检测的通用、准确的系统。它是一种对半导体晶片小特征和缺陷成像进行优化的高通量晶片检测仪。它只用于检查清洁晶片，不适合检查湿晶片。该机器能够检测直径大于1微米的小特征或缺陷。KLA CI 9450由多功能成像工具组成，包括高分辨率数码相机和先进光学器件。照明设备包括一个大功率LED照明阵列和一个用于光学成像的分束器,而扫描级能够在x、y和z轴上移动掩模或晶片。图像是通过多级视觉过程实现的,在此过程中,可以高速拍摄低分辨率图像以确定总体状态。但是,如果检测到缺陷,则可以进行更详细的成像。这是通过移动到晶片上的不同点并分别针对缺陷来实现的。ICOS CI-9450可以检查模具缺陷、暗色或浅色颗粒、弧形、气泡和针孔等缺陷。掩模和晶片检查模型还能够将缺陷位置记录为缺陷图的一部分,并提供Good、Average或BG等自动晶片分类。设备的硬件和软件的多功能性使其适合各种应用，包括晶片级、单元级和设备级对包括液晶显示器、光刻面膜和晶片、射频板、装配和封装IC和CMOS在内的各种晶片类型的检查。先进的光学和照明系统确保图像质量足以进行可靠的检查。KLA/ICOS CI-9450能够在自动模式和手动扫描模式下运行,操作员可以选择扫描区域并选择要检查的模具数量。系统的内置缺陷分析能力有助于对缺陷进行自动检测，并对缺陷信息进行记录，以便进一步深入研究。该单元配备了先进的管理员和数据管理软件，用于设置和操作掩模和晶片检测机。此软件使生成有关检查过程的报告变得更加容易,并且还可以解释数据,以便在发现缺陷时采取适当的纠正措施。总体而言，CI-9450面膜和晶片检验工具是一种坚固、可靠、易于使用的资产，用于检验面膜和晶片的质量。它效率高，具有检测其他检查系统可能无法检测到的小缺陷的能力。