二手 KLA / ICOS CI 9450 #9173937 待售

KLA/ICOS CI 9450是一种掩模和晶圆检测设备,旨在提供高通量屈服性能。它是KLA CX 9350的后继产品,融合了高级自动化和可定制的硬件和软件功能。该系统同时使用亮场、暗场和紫外线成像，以及获得专利的增强迭加技术，以确保精确的缺陷检测和分类。该单元配备了2500万像素的亮场数码相机和800万像素的低光级数码相机，每台都配有一台两英寸电子透镜机。大视野和高分辨率提供了优越的性能在广泛的晶圆大小和类型。此外，该工具还配备了紫外线二元相差成像能力，以改进透明材料成像。KLA CI 9450中提供的最先进的CCD提供了卓越的光学灵敏度,具有3D光刻胶步进等增强的工件。此外，该资产的专利增强覆盖技术被纳入到检测和分类潜在的覆盖相关缺陷。在检测速度方面，该型号的最大加速度为6G，使每小时晶圆的检测达到>640次。设备还支持并行特性，允许多个模式或目标与连续晶片并行对齐。此外,ICOS CI-9450还包括高级自动化功能,如自动模块弹出和多个模式加载/卸载功能,以最大限度地提高吞吐量。CI-9450使用各种用户友好的措施为用户提供改进的自动化工作流控制。这包括管理每个目标最多10个集成目标的能力,将报告与详细的数据视图相结合,以及方便的轮班作业设置工具。总体而言,KLA/ICOS CI-9450是一个高级、高度精确的掩码和晶圆检查系统,具有先进的自动化工作流控制、高速检查功能和卓越的成像分辨率。它非常适合那些在半导体行业中寻求提高产量性能和提高吞吐量的人。