二手 KLA / ICOS CI 9450 #9186860 待售
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KLA/ICOS CI 9450是KLA-Tencor Corporation提供的最先进的面罩和晶圆检测设备。它旨在识别和分析高级工艺节点半导体晶圆、标线和掩码中的潜在缺陷。KLA CI 9450具有自动晶圆对准系统,可提供精确的迭加对准,以及用于测量关键尺寸和地形的高级检查工具。该设备的光学机器提供了明场和暗场功能,并具有高放大倍率(最大500倍),能够进行高度详细的检查。此外,ICOS CI-9450还具有自动晶片级、动态聚焦机构以及彩色、偏振和多频映射等高级成像技术等多种高级功能。这些功能可以精确分析缺陷类型,如桥接、排空、掩码错误等。在软件方面,CI 9450具有直观的用户界面,内置缺陷分类和缺陷管理工具,以及图像分析和报告功能。详细的检查结果可以轻松导出,以用于下游审查和审查工具(如ICOS/LabExpert),从而可以快速轻松地审查检查结果。KLA CI-9450可配置用于多种工艺应用,包括光刻、OPC、衍射测量等。该工具还与KLA/ICOS/Advanced Process and Review Tool(一种集成的检查和审查软件)的高级层流程控制功能兼容。此软件为客户提供了控制和管理流程参数的最新技术。ICOS CI 9450是一种可靠的掩模和晶圆检验资产,旨在满足半导体行业的需求。其高度模块化的设计支持针对特定应用程序的定制,其高级成像和自动性能功能提供了出色的吞吐量。结合KLA-Tencor广泛的工具和软件,CI-9450是处理过程控制和缺陷检测的理想解决方桉。
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