二手 KLA / ICOS CI 9450 #9208707 待售

KLA / ICOS CI 9450
製造商
KLA / ICOS
模型
CI 9450
ID: 9208707
Inspection systems.
KLA/ICOS CI 9450是一种内联掩模和晶圆检测系统,用于监控制造过程的质量。该系统对从掩模到晶圆的制造过程的每个阶段进行自动、彻底的检查。KLA CI 9450由面罩检验、工艺检验、模具检验、晶片检验四个阶段组成。"掩模检查"阶段使用边缘检测算法来评估掩模特征几何的精度,如线宽、形状和对比度。此算法还确保正确对齐和放置蒙版的所有组件。"工艺检查"阶段评估生成掩模的光刻工艺的质量,如图样的曝光水平、深度和线性。此阶段还检查与所需特征几何的偏差。模具检查阶段检查用于创建芯片设计的晶体管、互连和其他组件的存在和精度。此相位还监视晶片的表面质量,这会影响芯片产品的可靠性。最后,晶片检验阶段在器件形成后寻找晶片表面的缺陷和污染物。这样,在将任何有缺陷的模具包括在最终产品中之前,都可以先识别和移除它们。ICOS CI-9450是一个高度可靠和精确的掩模和晶圆检测系统.通过其自动化的四阶段扫描过程,它能够检测制造过程的每个阶段的缺陷和污染,从而帮助确保最终产品的最高质量。它可以快速高效地运行,最大限度地减少执行必要质量检查所需的时间和金钱。
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