二手 KLA / ICOS CI 9450 #9244496 待售

KLA/ICOS CI 9450掩模和晶片检测设备是一种高性能的光学表面CCD掩模和晶片检测系统,旨在对先进的光掩模和晶片表面进行缺陷检测。该装置确保最大限度地实现检查分辨率和生产率。该机基于先进的光学成像工具，由两台高分辨率单色CCD摄像机组成，一台直线放大倍率，另一台透视成像。两台摄像机提供了最佳的宽视场，并配备了可编程检测场、轴上和离轴照明以及移相、识别、调色等先进成像技术。摄像机链接到图像处理器/查看站,该站允许图像处理。处理器配备了多种软件程序,允许用户查找、识别和评估缺陷。它还允许用户检查掩模或晶片的各个区域并获取感兴趣的图像。此外，软件可以计算缺陷的密度，并将其存储在板载数据库中，以供将来分析。该资产设计为高效运行，可达到高达每小时100晶圆的检测速度，精度高达0.1µm。它配备了用于远程访问的安全以太网,以便用户可以从世界任何地方控制它。该模型具有多种用户友好的功能,如直观的用户界面、与FOUP和LOT的完全集成、快速提交和检索作业、错误记录和实时故障隔离。此外，该设备与最新的光刻和计量系统完全兼容，并与各种光掩模和晶圆格式兼容。它符合行业标准,并提供可选的内置图像分类、检查报告生成和深入分析。总体而言,KLA CI 9450掩模和晶片检测系统是一个完整而全面的单元,它为用户提供高分辨率的成像功能以及先进的软件程序,以便能够对光掩模和晶片表面进行尖端缺陷检测。