二手 KLA / ICOS CI 9450 #9363158 待售
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KLA/ICOS CI 9450是一款高端的自动蒙版和晶片检测设备,为半导体行业提供卓越的晶圆和蒙版检测能力。该系统由三个核心组件组成:一个掩模检查组(MIS)、一个晶圆检查机(WIS)和一个计算机集成工具(CIS)。KLA CI 9450旨在提供掩模和晶片检查的准确性和速度,使最终用户能够完全控制检查过程。掩模检查资产(MIS)是一种具有单色图像采集、光学失真校正和波前分析功能的光学模型。该设备用于检测掩模表面的缺陷和污染。晶圆检测系统(WIS)由精密光刻模块、集成光学单元和提供可靠晶圆表面检测和图像采集能力的图像校正软件包组成。WIS用于检测晶圆表面的缺陷和污染。最后,计算机集成机(Computer Integrated Machine,CIS)是一种电脑工具,负责控制所有的检查系统,控制工作流程,管理晶圆和掩码数据。ICOS CI-9450利用一系列先进技术,包括最新的明场成像和差分干涉对比度(DIC)成像,准确检测和标记晶片和掩模上的缺陷和污染。一系列的滤光片、光学镜头和去放大相机被整合到资产中,提供优越的检查。该模型还具有各种自动检查和报告工具,如缺陷分类和过程控制。最后,该设备集成了精密机器人技术,使整个掩模和晶圆检测过程自动化。这保证了准确性,提高了检查过程的速度,降低了人为失误的风险。该系统还提供全面的板载文档和编程功能,以及所有检查结果的完整可追踪性。因此,客户可以放心,KLA CI-9450将为每批口罩和晶片提供准确可靠的检验结果。
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