二手 KLA / ICOS CI 9450 #9363159 待售

KLA/ICOS CI 9450面膜和晶圆检验设备的设计符合最先进的图样介质检验的严格质量要求。它提供高分辨率的生产级成像、自动化的实时系统修复和广泛的检查功能,以提供最大的模式保真度、缺陷检测和屈服保证。该单元配备了高分辨率的600万像素全画幅摄像头，允许分辨率大于1 µm，测量精度优于1 µm。它还能够以线性和多视图模式捕获图像数据。现场可更换的动态冷场发射源为检测缺陷提供了最佳照明，而机器的自适应照明技术确保了对比度优化效果。该工具的高级缺陷检测功能包括缺陷的自动分类和分类、缺陷的辅助分类、假阳性缓解和过程控制。它可以回顾各种缺陷，从大于0.8 µm的缺陷到小于500 nm的超微小缺陷。KLA CI 9450还配备了高效的全球协调对齐工具和自动化资产维修能力，以减少潜在浪费的检查时间，提高产量。该模型包括一个全面的仪表板UI,用于查看、分析和管理检查结果。还提供了所有检查的完全可追踪性，从而能够快速评估光刻工艺的变化和核查检查条件和结果。此外,设备还集成了强大的报告界面,以实现更高效的可制造性设计分析。ICOS CI-9450提供高速远程访问,系统的校准测量选项验证了缺陷测量的准确性和可靠性。该单元还提供多种软件功能，包括自动对焦、晶圆平整自动检测和电平内存功能。CORE Machine软件平台提供了深入直观的用户体验，使得该工具成为了模式媒体检查的理想选择。