二手 KLA / ICOS CI 9450 #9396597 待售

KLA/ICOS CI 9450是为半导体制造而设计的先进、自动化的掩模和晶圆检测设备。它提供高速图像采集、自动缺陷审查和掩码计量等功能。该系统利用前沿光学技术对光刻图样进行精确测量和高分辨率图像，为检测晶片掩模和成品晶片上的缺陷和不符合要求提供了可靠的方法。该单元由两个组件组成-晶圆检查组（WIF）和KLA相关图像采集和审查机（CIARS）。WIF负责获取和处理被检查的掩模或晶片的高分辨率图像。WIF可以以每晶圆60秒的速度获取图像,从而实现快速高效的检查。它配备了多种镜头，可以捕捉不同的视野。支持多种图像格式,以便于图像之间进行比较。CIARS组件处理掩码或晶片的审阅,使用专有缺陷检测算法突出显示缺陷和不符合要求。该工具使用子像素边缘检测结合基于规则的模式识别来检测缺陷并进行分类。可以为各种范围和应用程序配置CIARS资产,从而实现配置的灵活性。此外,它还支持多种语言以扩大用户群。KLA CI 9450提供了广泛的功能和优势。它提供高分辨率成像功能和快速的图像采集速度。它还具有自动缺陷审查和掩码计量学功能,可以高效、精确地发现缺陷。此外,它还提供了广泛的可自定义配置,使其适合各种应用程序和用户。该模型易于使用和维护,确保了可靠的性能并最大程度地减少了停机时间。