二手 KLA / ICOS CI-T120 #293662323 待售

KLA/ICOS CI-T120是一种掩模和晶圆检测设备。它被半导体工业用来检查光掩模和wAFERS是否有缺陷、划痕、污染和其他光学不规则性。KLA CI T120是一个高端检测系统，结合先进的光学、软件和相机技术，提供业界领先的检测和纠正缺陷的精度和准确性。ICOS CI T-120的核心是一台高分辨率的二维相机,能够捕获分辨率小至10微米或更小的图像,用于光掩码和晶圆检查。设备配置了一组检查镜头,具体取决于应用程序。这些透镜包括消色差、多场、特殊用途和用于检查光掩模和wAFERS的可拆卸透镜。CI T-120还集成了用于缺陷检测和纠正的各种软件。这包括用于减少模式失真、增强模式识别以及检测污染物和划痕的软件。KLA CI-T120经过优化,可用于自动检查站。它具有机械臂接口功能，使检测机能够连接到不同的机械臂，以实现面罩和晶圆检测仪的自动化。此外,它还具有多区域成像和缝合功能,可对齐不同区域的图像,或自动绑定掩码和晶片。在用户界面方面,ICOS CI-T120提供了一个全面的GUI工具,用于控制和监视检查过程。GUI允许设定测量参数，监控检查结果，观察检查任务的整体完整性。还包括一个功能强大的管理资产,它使用户能够配置和监视检查模型的性能,以及生成有关检查结果的报告。总之，KLA/ICOS CI T-120是半导体工业进行掩模和晶圆检测的有力工具。它旨在通过其先进的光学和软件功能提供最先进的性能。CI-T120提供了检测和纠正光掩码和wAFERS缺陷的高端精度和精确度。它与机械臂的集成确保了检查过程的高效自动化,而其全面的GUI和管理设备使用户能够有效地控制和监控整个过程。