二手 KLA / ICOS CI-T120 #293792882 待售
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KLA/ICOS CI-T120是为晶圆厂环境设计的高性能掩模和晶圆检测设备。KLA CI T120采用先进的光学、激光和成像技术,采用数据驱动的智能技术,可精确检测屏蔽和晶片上的缺陷。其先进的照明激光干涉测量系统(LIS)能够实现无损、高分辨率的表面地形成像(TES),用于准确的缺陷检测和分类。ICOS CI T-120具有增强的滤镜和透镜阵列,可对8,400毫米方形(mm2)以上的区域逐行或矩阵区域进行超高速照明。KLA CI-T120还包含一个强大的图像处理引擎,用于全面的图像分析。它内置的数据驱动人工智能算法库可以检测微缺陷,并将其分为不同的大小、强度和拓扑群。此外,CI T-120还配备了高灵敏度检测模式识别(IPR)算法,用于检测各类桥梁缺陷和半桥梁缺陷。IPR算法通过识别和隔离断桥或缺失、偏转和网格故障等缺陷特征,能够识别和测量甚至最小的缺陷-低至50纳米(nm)。ICOS CI T120旨在简化掩模和晶圆检测过程。交钥匙装置使设置和校准变得快速和容易,而其自动化软件使数据的快速收集和成像成为可能。它还能够以高达每小时3.3晶片的速度对大型晶片进行全晶片检查。此外,其内部监控系统通过提供实时性能反馈和诊断帮助减少设备停机时间。CI-T120符合或超过美国和国际可靠缺陷检测标准以及低颗粒风险要求。此外,这台机器有助于减少对昂贵的后处理步骤的需求,因为其卓越的缺陷检测有助于确保最优质的晶片和掩模满足制造要求。此外,该工具还提供全面的统计和质量过程控制数据,以便于分析和报告。CI T120是需要可靠且经济高效的检测解决方桉的半导体和光掩模制造操作的绝佳选择。KLA CI T-120结合了先进的光学、成像和人工智能技术,是实现卓越质量控制的理想解决方桉。
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