二手 KLA / ICOS CI-T120 #293826047 待售

KLA/ICOS CI-T120是一种先进的掩模和晶圆检测系统，旨在满足尖端半导体制造工艺步骤的精密计量和材料分析需求。它具有专有的高级光学检查和自动对准系统,以确保最高的计量质量和性能,并符合最具挑战性的要求。该系统能够检查到60 nm技术节点的光掩码。KLA CI T120配备了KLA专利光谱光场成像,提高了灵敏度.这样可以提高采集速度、提高检查精度和提高视野（FOV）。亮场成像允许在不同的光源下进行对比度变化：反射亮场（MRBS）、暗场照明（MDBS）和紫外线照明（MUV）。ICOS CI T-120还具有ICOS高级光学图样识别功能,具有线宽测量（LWM）、接触孔测量（CHM）和MEEF提取（MEEF）等功能。除了高画质外,CI T-120还具有自动对准和对焦功能。这些功能确保了图像与掩模或晶片的一致和准确对齐,以及对特征的快速和精确测量。自动对准算法用于最佳定位精度,而快速聚焦检测则允许快速、精确的精细聚焦调整。KLA CI-T120具有全面的数据分析功能,能够进行详细的缺陷分析。它具有实时缺陷监控和扩展静态检查以满足各种设备结构的功能。它还具有高速分析引擎和先进的缺陷分类，为快速吞吐量和一致的结果。CI T120旨在最大限度地降低总拥有成本。它由超精密零件打造而成，结构坚固，确保运行稳定。它需要最低限度的操作员培训,耗材成本低,并且专为高吞吐量和生产率而设计。ICOS CI T120是一种先进的检测系统,以极具吸引力的价格提供卓越的准确性和可靠性。对于那些在最具挑战性的半导体制造过程中需要精确计量和材料分析的人来说，它是理想的解决方桉。