二手 KLA / ICOS CI-T120 #9101540 待售

KLA/ICOS CI-T120是为先进半导体制造而设计的高精度掩模和晶圆检测设备。它提供了先进的掩码和晶圆缺陷检测和诊断功能,非常适合用于制造前沿半导体器件。KLA CI T120基于一个模块化平台，将两个传感器和照明系统合二为一。这些系统包括CMOS区域传感器、获得专利的智商²光学解决方桉和先进的照明系统。面积感应器分辨率为2400万像素，并设有专用的近红外通道，用于提高对比度和分辨率。IQ ²光学单元可提供高达350倍的放大倍率,并提供增强的高分辨率成像的扩展景深。照明机兼具LED和UV光源，实现了快速鸦片化的多功能应用。ICOS CI T-120还提供全面的缺陷审查和检测功能。它执行全面的缺陷审查，如面具缺陷、图样缺陷、图样拷贝和胶片污染审查。它还执行自动缺陷检测,包括粒子检测和审查以及形状测量。KLA CI T-120具有广泛的动态范围和高场强度，提供了最大的缺陷检测和测量精度。ICOS CI T120易于使用,并通过其先进的自动缺陷审查模式提供了快速的结果。它被设计成集成到半导体制造工艺中，为晶圆键合、芯片封装等先进半导体工艺提供全面的检测解决方桉。该工具还配备了功能强大的软件工具，可实现快速的数据分析、图像处理和报告。综上所述，KLA/ICOS CI T-120是为最苛刻的半导体应用设计的高精度掩模和晶圆检测资产。其全面的缺陷检测和诊断能力,加上易用性,使其成为制造先进半导体器件的理想解决方桉。