二手 KLA / ICOS CI-T120 #9190203 待售
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KLA/ICOS CI-T120是一种高速、双光束、光学检测设备,用于检测半导体晶片和掩模。它是在集成电路制造的前端和后端过程中识别半导体晶片缺陷的经济高效的解决方桉。KLA CI T120能够检测非常小的缺陷,如晶片和掩模上的颗粒缺陷、划痕、空隙和不符合。系统使用两个同步扫描显微镜,通过结合亮场照明、透射光成像和暗场亮场成像来检查晶圆和掩码。光场照明很容易检测到粒子缺陷,而透射光成像技术识别出包括空隙在内的亚微米缺陷。暗场亮场成像可产生高对比度和高分辨率的图像,从而获得最佳的缺陷表征.ICOS CI T-120包括具有可编程缺陷检测阈值的高级自动信号处理功能。这使设备能够自动检测缺陷并最小化错误警报。ICOS CI T120的最大字段大小为3英寸(7.62厘米),可提供高达130万像素/秒的数据采集速率。它还具有8位和12位像素位深度,使机器能够精确捕获和分析甚至最小的缺陷。它与各种介质兼容,包括CD、DVD、磁带和硬盘。该工具配备了简单直观的用户友好图形界面,帮助操作员快速高效地检查晶圆和掩模。该资产可以与现有的半导体制造模型集成,从而便于实施和集成。它还包括一系列软件选项,以确保可以对其进行自定义和配置以满足每个客户的特定要求。总体而言,KLA CI-T120是一种强大的检测设备,旨在为半导体晶片和掩模提供高精度、经济高效的缺陷评估和分析。其双光束光学器件、可编程缺陷检测能力、高采集率确保即使是最小的缺陷也能准确识别。其用户友好的界面、与各种介质的兼容性以及集成能力使其成为半导体制造商的理想选择。
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