二手 KLA / ICOS CI-T120 #9208705 待售
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ID: 9208705
优质的: 2008
Inspection system
Modes:
BGA/CSP
CSP
LGA/Substrate
GW
QFN/BCC
Power consumption: 3.3 kW
Air pressure: 5.5 bar ± 0.7 bar (80 psi ± 10 psi)
Power supply: 115/230 VAC (±10%), 50/60 Hz, Single phase
2008 vintage.
KLA/ICOS CI-T120是一种用于检测半导体制造缺陷的掩模和晶圆检测设备。该系统由图像处理子系统、晶圆检测子系统和控制子系统三部分组成。图像处理子系统使用成像光谱仪、自动对焦单元和成像光学机器，从包括光掩模、晶片、模具等表面在内的多种基板上收集图像，然后将其转换成图像数据点。然后使用此图像数据检测缺陷。晶圆检测子系统由一系列先进的光刻系统和一个多模具对准工具组成。利用光刻系统对晶片表面进行精确绘制以创建器件特征。多模具对齐资产用于精确定位、调整和对齐模具,以确保它们都处于同一方向。控制子系统负责控制操作顺序，确保检查结果准确。子系统还包括中央处理器、内存单元、输入/输出控制单元和通信链路。处理器负责控制模型操作，而内存单元则存储图像处理子系统和光刻系统收集的数据。输入/输出单元用于在设备之间传输数据,而通信链路允许系统连接到其他系统。KLA CI T120掩模和晶片检测仪是一种用于快速定位和量化半导体制造缺陷的可靠、准确的机器。它是IC和其他半导体器件制造质量保证的理想工具。该工具的图像处理和光刻系统以优异的分辨率提供准确的结果,而其控制子系统则确保资产以高效可靠的方式运行。
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