二手 KLA / ICOS CI-T120 #9221136 待售

KLA/ICOS CI-T120是一种用于检测各层标线和晶片材料缺陷的掩模和晶片检测设备。该系统具有超高分辨率，确保对材料进行清晰准确的检查。它提供了3D地形、反射、传输和荧光图像在标线和晶片上的增强可视化。该单元包括一套高级图像处理工具,用于区分常规模式或特征中的潜在缺陷。它使用各种照明系统和显微镜，包括激光光束刻录器和光学显微镜，以精确的空间分辨率捕捉大量图像，并记录它们的强度。这样就能够准确地比较和分析不同的图像（例如不同放大倍数的图片）。KLA CI T120还具有集成的自动化缺陷检查和审核功能,允许用户轻松检查和测量给定晶片上的多个缺陷。机器能够识别最常见的缺陷类型，包括颗粒、线条、水泡等。它还可以检测到表面形态和层的微小变化。ICOS CI T-120可以以高达每小时200晶圆的速度运行,大大缩短了与工艺窗口进行比较的检查时间。此外，CI-T120还配备了一整套报告和数据分析工具。用户可配置的报告使用户能够快速识别问题区域并提高其流程质量。该工具提供各种参数的实时控制和显示，以更好地观察过程偏差。因此,KLA CI T-120是晶圆和掩模制造的宝贵工具,使制造商能够快速检测和解决生产过程中的缺陷。它有助于降低未经检查或重新加工的掩模和晶片的成本,并有助于减少生产损失的时间。此外,资产的高吞吐量、分辨率和自动缺陷检测功能使其成为当今最好的自动掩码和晶圆检测系统之一。