二手 KLA / ICOS CI-T120 #9237030 待售

KLA/ICOS CI-T120是为晶圆和掩模制造行业设计的精密检测设备。它利用先进的激光成像技术、光谱成像和算法分析相结合，检测半导体材料表面的微观微粒和其他污染物。检测系统包括一个高分辨率激光成像（HRLI）单元，它允许对晶片和掩模上的表面缺陷进行实时成像。它使操作员能够可视化任何尺寸达25纳米的污染物，并对设置进行精确调整以确保可重复结果。KLA CI T120还包括一台先进的光谱成像（SI）机器，它与HRLI配合工作，检测不同缺陷的表面反射率的微小差异。SI工具可用于识别HRLI无法检测到的缺陷曲面不一致之处。检验资产配备了最新的算法分析算法。这样就可以进行自动检查,从而能够检测到最小的缺陷。它象征性地聚集了缺陷和非缺陷，然后应用各种统计模型来识别污染。这使模型能够准确地检测和识别极小的差异,否则这些差异可能不会被检测到。ICOS CI T-120也是模块化和可扩展的。它的框架旨在使高级应用程序能够升级和集成额外的检查模块。此外,设备还提供实时控制和离线分析功能。总体而言，KLA/ICOS CI T-120是一个可靠、高效的晶圆和掩模检测系统。它结合了HRLI、SI和算法分析，使其能够以前所未有的精度检测表面缺陷。此外,它的模块化设计允许各种应用程序,并集成用于特殊任务的其他模块。