二手 KLA / ICOS CI-T120 #9246691 待售

KLA/ICOS CI-T120是一种精密的用于光刻工艺控制的掩模和晶圆检测设备。它提供关键的计量数据,以提高零件产量、质量和成本控制。KLA CI T120是一种最先进的自动掩码和晶片检查工具,能够分析各种工艺层上的掩码数据、标线、单个字段和全晶片级模式。这一综合系统考虑到织物中使用的各种基材，包括1倍和2倍的标线，其分辨率范围为0.25至0.45 μ米。使用专有的高级算法,ICOS CI T-120允许用户比较排泄率、缺陷、设计元素及其尺寸、间距、光学密度、几何参数、源类型和其他相关参数,用于传统的光学级别检查。除了快速准确的光学检查功能外，KLA CI-T120还提供了一系列高级功能，如重迭、边缘放置、焊接面罩和配准，此外还有关键的工艺检查。该单元还使用户能够在一个可以通过校准改进的过程中快速识别和识别问题。KLA/ICOS CI T-120对工艺变化和底物差异也具有很高的耐受性，这意味着它可以在极低浓度，低至0.001%的情况下识别工艺变化。这台机器还能够检测小至0.1微米的缺陷，并提供广泛的报告功能。CI T120是寻找经济高效可靠的掩模和晶圆检测资产的理想工具。它严格的过程控制使用户能够确保产量保持一致,强大的设计提供了较低的拥有成本,灵活的检查功能提供了可观的投资回报。