二手 KLA / ICOS CI-T120 #9281542 待售
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KLA/ICOS CI-T120是一种先进的半导体织物掩模和晶圆检测设备。它具有由四个组件组成的分布式体系结构:图像捕获/处理、图像分析、系统控制和数据存储。图像捕获/处理组件包含一个定制的高分辨率CCD摄像机单元,用于捕获蒙版和晶片的图像。传感器共有超过200万像素,可以捕获图像,最大分辨率为10微米。此外,机器还包含复杂的图像处理硬件和软件模块,能够检测和分类缺陷。图像分析组件具有专用的硬件和软件系统,用于分析捕获的图像。该工具使用复杂的算法检测缺陷,并根据形状、大小、对比度等各种参数对其进行分类。此外,资产可以进行电子束、X射线和其他形式的粒子束检查,以识别遮罩和晶圆缺陷。模型控制组件是KLA CI T120的核心,负责设备的平稳运行。它包含一个完全可编程的计算机板,用于控制图像捕获、分析和数据存储。此外,它还控制系统的参数和校准,包括暴露时间的选择和分析的频率。单元控制还提供了与晶圆厂中其他系统直接通信的接口。最后,数据存储组件被设计为存储所有数据的检查蒙版和晶片。它存储来自图像捕获和处理的原始数据,以及来自图像分析组件的分析输出。此外,它还具有用于存储测试结果、维护日志以及与刀具操作相关的其他相关信息的数据库计算机。总体而言,ICOS CI T-120是一种先进的掩模和晶圆检测资产,旨在满足半导体织物的要求。其高度定制的硬件和软件系统使其能够以10微米的分辨率捕获图像、检测和分类缺陷以及存储所有收集的数据以便进一步分析和故障排除。此外,它的分布式体系结构确保了灵活性、可扩展性以及与不同晶圆厂设置的兼容性。
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