二手 KLA / ICOS CI-T120 #9312491 待售
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KLA/ICOS CI-T120是天空型自动面膜和晶圆检测设备中的一只眼睛。这一高性能检测系统能够高效、在线生产和快速实施下一代模具检测解决方桉。KLA CI T120配置有一个自动的五轴x/y/z/旋转/倾斜级,其中包括独立于视觉机操作的自身运动控制单元。这种运动控制工具使半导体晶片的快速扫描能够实现多模具检查、对准和后检验质量控制。ICOS CI T-120利用其专有的高级模式识别和5-AXIS显微镜阶段检查2D、3D和阶梯式特征。KLA CI T-120设计用于同时检查裸晶片和图案化半导体晶片的缺陷。KLA CI-T120可配置UV照明和最新成像技术Mega-Core图像传感器,以增强成像效果。该资产还支持两个全分辨率摄像头,用于同时检查。KLA/ICOS CI T-120配备了先进的超精确未对齐对齐控制,可自动对齐和对齐各种功能和功能。这个稳定的模型也允许在重複模式的配准上完全灵活。CI-T120能够检查和测量模式和缺陷,包括电压限制、开放/短裤、开源、线宽和模式不对齐。先进的成像和专有检查算法还可以识别多种模式,如非接触式、线路填充、线路交叉、电压限制、晶格和光晕结构。该设备可以测量参考定位标记以及缺陷的高精度和低精度,并且可以调整视野以获得最大的捕获和精度。ICOS CI T 120灵活的软件平台使集成和操作变得轻松,并为用户提供了一整套检查和报告工具。操作系统软件可以直接从嵌入式多处理器单元运行。通过提供图形用户界面以及访问触摸屏,进一步简化了用户控制。软件还包括一系列功能和控制选项,可根据特定需求自定义设备。CI T-120专为全天候操作而设计,它为自动掩码和晶片检查提供了高效、无错误的解决方桉。10微米的最大运动精度及其亚微米的z轴控制确保了关键模具级特征的清晰、准确的通过或失效等级。这台机器是半导体制造商可靠易用的解决方桉,旨在最大限度地提高设备生产的吞吐量和质量。
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