二手 KLA / ICOS CI-T130 #293828078 待售

KLA/ICOS CI-T130是一种基于亮场成像的自动掩模和晶圆检测设备。该系统拥有390毫米x 520毫米的视场，非常适合检查大面积的光掩模和晶圆。KLA CI-T130配备了高分辨率CCD摄像头和LED光源，同时采用了先进的图像处理和客户专用算法。该系统能够以全自动的方式检测光掩模和晶圆表面的缺陷并使其可视化，精度为2-3 um。该单元的软件可对信噪比为4：1的缺陷进行精确的3D测量。其用户友好的3D图形用户界面（GUI）允许自定义检测阈值和自动图像分析等检查参数。用户还可以为晶圆的不同区域分配不同的摄像头设置,例如增益,以获得优化的结果。对于晶片,机器可以通过金属缺陷检查检测缺失和错误的极性缺陷,以及通过多孔缺陷检查检测缺失或额外的极性缺陷。此外,它还可以检测接触的开口和短裤,破碎的光刻线,和桥接圆角.该工具的划痕/打印颜色测量可以区分矿物和有机污染物,以及测量污垢和环境污染物。其他特征包括光场、红外检查、特征压裂、涂层、表面应力和污染物覆盖测量。ICOS CI-T130提供了一种清洁检查功能，旨在检测尘埃颗粒、划痕和其他杂质，这些杂质已经逃脱了传统的在线清洁过程。该资产不仅提供绝对紧密的公差足迹和线宽测量,而且还提供了关键特征区域的完整亚微米地形。材料分类也可以通过CI-T130进行。该模型操作流畅可靠,非常适合进行掩模和晶片检查,无论工作的大小或复杂性如何,都能确保获得最佳效果。其直观的用户界面使其既适合新手又适合经验丰富的技术人员，而其先进的功能则使质量保证更加容易和高效。利用KLA/ICOS CI-T130，KLA创造了一个强大的掩模和晶圆检测设备，既准确又易于使用。