二手 KLA / ICOS CI-T1X0 #9351874 待售
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KLA/ICOS CI-T1X0是一种用于在先进技术节点中进行高性能缺陷检测的掩模和晶片检测设备。它提供了广泛的配置,使客户能够自定义其检查系统,以实现优化的检查性能以及晶圆和掩模尺寸。基本配置包括一个6英寸乘8英寸的扫描模块，方便高分辨率的检查能力。此外,该系统与200 mm以下的各种晶圆尺寸兼容。KLA CI-T1X0有一个被称为空气涂层高数值孔径（AHN）显微镜的照明装置。这种高精度的光学成像机被设计用来检测和聚焦即使是在掩模和晶圆表面最小的缺陷。另外，该工具中的光源是一个平面照明器，它可以调整完美的成像对准。集成高清相机提供快速准确的缺陷成像。它配备了一个Hi-Vision Sensor,该传感器经过调整,即使是最小的缺陷也可以从0.8米以上μ拾取。此外，该资产采用ImageFocus+算法进行编程，有助于提高对比度和分辨率，确保准确检测缺陷。该模型采用耐用、耐振的部件，如硬质涂层晶片卡盘，以确保高精度扫描和成像。此外,ICOS CI T1X0还配备了强大的计算功能,旨在处理从显微镜和照相机接收的数据。对于每个晶片扫描会话,设备将生成并存储详细的缺陷报告,包括缺陷的位置、大小和类型。KLA CI T1X0通过最新的软件技术和先进的分析技术得到进一步增强,以支持精确的晶圆检测和快速解决复杂表面问题。增强的过程控制软件是一种功能强大的分析工具,可提供洞察力,确定在表面条件和缺陷方面的趋势和关注的问题。总体而言，KLA/ICOS CI T1X0是一种用于先进技术节点的强大的掩码和晶圆检测系统。它是一个极其可靠和高效的单元，旨在提供高质量的检验结果，确保即使是最小的缺陷也能准确检测。
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