二手 KLA / ICOS CI T620 #9384157 待售
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KLA/ICOS CI T620是一种全自动掩模和晶圆检测设备，旨在支持半导体IC的高效生产。该系统采用多角度、多维成像模式的标线、晶片、掩模和相关基板，以便检测表面颗粒和缺陷。它配有高分辨率单色CCD相机，配有本色光学器件和用于查看图像的高分辨率液晶显示器。此外，还使用大功率LED单元照亮检测目标，同时安装两个激光自动对焦单元，精确瞄准检测地点。KLA CI T620机采用了一系列扫描选项，以便从检查过程中获得最佳结果。其中包括标准的"1x1"选项和"2x2"选项,通过在垂直和水平方向上扫描来检查整个区域。该工具利用多种检测方法来区分好像素和坏像素。其中包括：灰度直方图、统计模式识别和局部分析缺陷密度.可以使用基本或高级检查模式，基本模式提供对单层或双层掩模和晶片的快速扫描。先进的模式适用于多层、超精细的器件检测。资产还提供了大量可选的数据分析工具,以帮助工程师更好地了解检查结果。其中包括缺陷查看列表,允许用户以表格格式查看检测到的缺陷。另一个常用的选项是"缺陷报告",它提供了检测到的缺陷的列表列表,以及其他参数（如大小、形状和材料类型）。ICOS CI-T620可配置为检测和分类各种缺陷类别,包括模式识别和外来材料。利用电测、电子显微镜技术、电扇出分析等多种方法进行缺陷筛选。该模型通过三种抽样模式-聚焦-曝光（FE）模式、可变聚焦法（VFM）和两阶段抽样法（TSM）确保有效抽样。CI-T620是一种可靠的设备,具有快速的响应时间和功能,可以根据特定的应用程序进行定制,并利用先进的技术进行扩展。它提供了准确和可重复的检验结果,使工程师能够快速修复任何缺陷并提高其制造产品的整体质量和可靠性。
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