二手 KLA / ICOS WI-2200 #9228011 待售

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製造商
KLA / ICOS
模型
WI-2200
ID: 9228011
Automated inspection systems Includes: NEWPORT Motion controller Aladdin illumination controller KLA / ICOS HM-200 Wafer handler KAWASAKI Robot handler.
KLA/ICOS WI-2200掩模和晶片检查设备是一种自动化的全场成像系统,能够快速、高精度地检查关键图样材料。该单元利用激光器和数字光学器件能够在nm分辨率水平上进行检查,并针对各种晶圆级和掩模级应用进行了优化。机器的工作原理是捕获图样化材料的图像,如晶圆或标线,然后用专门的算法分析这些图像以检测偏离设计的情况。该工具可以实时处理数据,并且能够自动对数据进行分类和分析,以快速识别过程缺陷。KLA WI-2200提供高吞吐量,具有快速的扫描时间和较低的每芯片成本。该资产具有强大的成像和分析工具,如全场缺陷检测、焦点映射和图像缝合功能。它在晶圆级和掩码级应用程序中都提供了可重复的精度,并提供了最小的误报率。自动化算法还允许更快的过程控制和鉴定。除了自动检查外,ICOS WI-2200还提供手动检查功能,使用户能够直接查看和标记掩模/晶片上的缺陷。该模型还包括流程控制、排队和运行时分析功能。WI-2200支持各种布局,包括正面和背面通过、红外、OPC、计量和接触孔。它易于升级和配置,允许客户根据自己的特定需求扩展和定制设备。它还具有远程支持功能,允许用户从任何位置排除故障并优化系统。总体而言,KLA/ICOS WI-2200 Mask&Wafer Inspection Unit是一台先进的自动化检验机,可为各种阵列材料应用提供快速、准确和可靠的过程缺陷检测。该工具具有高度可配置和易于升级的特点,其远程支持功能使其成为寻求经济高效的检查解决方桉的客户的理想选择。
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