二手 KLA / ICOS WI-2280 #293630246 待售

KLA/ICOS WI-2280 Mask&Wafer Inspection设备是一种自动光学检测（AOI）平台,专为高级缺陷检测和分析而设计。它是一个完全可配置和可扩展的平台，允许定制检查策略和参数，并提供最准确的检查结果。系统主要部件包括高分辨率CCD摄像头、高分辨率光学、智能图像识别分析软件、双轴对准晶片级、专利超精确校准技术等。CCD相机提供了最小像素大小为3.2 µm的高分辨率图像，而高分辨率光学器件则提供了较大的景深。该单元使用3-D图像捕获技术以数字方式捕获晶圆上设备的详细图像。然后,图像识别软件将分析每个图像的表面和表面下方的缺陷。它可以检测到小至4 µm的缺陷，使其能够准确识别人眼看不见的晶圆缺陷。晶片级是一种双轴对准机，在定位和对准晶片时提供亚微米精度。这样可以确保晶片在捕获图像之前正确对齐。获得专利的超精确校准技术确保检验参数正确，并且该工具始终提供准确可靠的结果。资产附带了一系列软件工具,使用户能够自定义检查策略、为可接受的缺陷限制设置阈值以及监控结果。分析软件还对最终结果进行分析，并向用户提供反馈。KLA WI-2280模型非常适合进行大批量检查,提供高效、快速的缺陷识别和极其准确的结果。它能够识别各种缺陷,并可用于检查各种结构,如金属线、有源装置、触点和太危险而无法测量（TDTM）。ICOS WI-2280 Mask&Wafer Inspection设备非常适合各种关键应用,以合理的价格提供卓越的性能和准确性。它的先进技术为最苛刻的检查要求提供了高效且无缺陷的工艺。