二手 KLA / TENCOR 0116358-001-REV A #293649651 待售

KLA/TENCOR 0116358-001-REV A 'Mask&Wafer Inspection'设备是一种晶圆和标线检测系统,具有双摄像头光学元件,像素大小为（20 µm）,可提供业界领先的计量结果。该单元由多个组件组成，包括高放大倍率彩色相机、高动态范围（HDR）成像机、具有高速运动的采样台以及各种专用软件程序。高倍率彩色相机允许对无图案和图案的晶圆表面和缺陷进行详细的检查和分析。此外,相机还提供高分辨率图像,可以对孤立的缺陷进行定量分析以及自动边缘检测。高动态范围成像工具可提高对缺陷的灵敏度,从而实现更详细的分析。此资产旨在借助各种专门算法识别边缘细节和本地特征,从而更好地了解半导体制造过程中的故障。样品级提供了一系列高速运动，可以快速准确地检查大量晶片。采样级的每个段都由两个直线电动机组成，提供极快而精确的运动。除了KLA 0116358-001-REV A的硬件外，还有各种专门的软件程序设计，提供完整的计量结果。软件包括缺陷审查分类、缺陷检测、模模映射、晶圆测量、图像分析等系统。此外,自动化算法还可以有效、准确地生成晶圆图,同时减少时间和成本。总体而言,TENCOR 0116358-001-REV A"掩模和晶圆检查"模型旨在提供高分辨率、准确的测量,同时减少周期时间和成本。其强大的功能和专门的软件提供了完整的计量结果，提供了对半导体制造过程故障的全面了解。