二手 KLA / TENCOR 2 XX #9009649 待售

KLA/TENCOR 2 XX是一种掩模和晶片检查设备,针对大中型生产进行了优化,旨在最大程度地降低拥有成本,同时在各种应用程序中提供最高精度。创新的设计将缺陷检测、自动缺陷分类和审核能力结合为一个完整的工具。KLA 2 XX系统提供高精度的高速缺陷检测,放大倍数可达70倍,可解决缺陷类型,包括线宽、颗粒/污染、桥梁和开放缺陷。特定于应用程序的图像采集和特征提取算法保证质量结果无论材料被检查，而M-Vision粒子/污染分析包通过形态区分粒子和背景。TENCOR 2XX单元具有自动轮廓分析和异常值删除策略,可用于处理线宽和网桥缺陷的真实缺陷表征,是生成缺陷参考数据的理想工具。此外,采用10倍轮廓、84倍PEM缩放和自动缺陷识别技术,对缺陷进行了准确分类,以便更好地跟踪和提高产量。这台机器的高吞吐量和精确度得到了用户友好的集成软件界面的支持,该界面能够每小时分析多达500个晶圆。此外,其他软件包还提供了其他功能,如应力和失真分析、地形识别和缺陷级别测量。内置冗余和可靠性功能确保2XX工具运行平稳,并保持长期性能,而基于网络的资产体系结构确保所有数据都能在全球生产设施之间共享。该型号配有一个全球支持网络,并根据用户的应用程序提供各种选项、升级和附件。