二手 KLA / TENCOR 201 #293635802 待售
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KLA/TENCOR 201是一种用于掩模和晶圆制造的自动化检验设备。用于确保光刻等工艺中使用的口罩无缺陷。该系统由掩模检测站（MIS）和晶圆检测站（WIS）两部分组成。MIS设计用于检查2面或2层掩模的多达4-8个平面高分辨率光场。MIS用于检测光掩模图样中具有非常高灵敏度的缺陷，允许完全缺陷覆盖。它能够分析各种过程引起的缺陷，并提供精确的缺陷坐标测量。机器会自动识别不同的模具尺寸,并接受各种口罩。WIS最多可检查4英寸或6英寸晶圆的8个平面高分辨率光场。它提供准确的缺陷检测,而不会丢失任何缺陷。这台机器提供了内部和周边缺陷的覆盖范围，通过/故障确定和详细的缺陷图。WIS还允许光学签名识别,这是检测过程残差、结构缺陷和其他生产问题的有效工具。KLA 201能够在100类清洁室环境中运行,并附带用户友好软件,允许从任何PC进行远程访问。该单元提供对整个过程和监控周期的全面控制，并支持多种语言。总体而言,TENCOR 201是一种可靠、高效的掩模晶片检测机.本文设计用于检测不同类型的缺陷，具有较高的可靠性和精确的缺陷测量。该工具适用于半导体制造、掩模和晶圆制造等相关行业。
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