二手 KLA / TENCOR 201 #293647441 待售

KLA/TENCOR 201'掩模和晶片检验'设备是一个高度先进的工业系统，有助于检查掩模和晶片上的图样。该单元配备了一系列特征，用于检查模式的保真度及其结构完整性。KLA 201机器使用三镜成像子系统，能够在各级检查中实现高质量成像，提供所需的准确性。高度先进的光学工具收集明场和暗场图像信息，然后收集和存储这些信息。然后将提取的数据转化为一组图像和地图，以揭示对所调查的结构表面及其侧壁的详细统计分析。此外,内置专利的Measurement Commander软件可以自动进行高精度广域计量和检验测量,捕获两个级别的计量数据。第一层包括表层厚度、平整度和重迭图样或线密度；而在面罩图样边缘上工作的第二个则涉及侧壁厚度、线形和横截面面积。TENCOR 201资产的检查能力通过允许缩短学习曲线的可变作业设置得到进一步增强。它使用现有的数据库来执行各种测试任务,如迭加、宽度和金属线缺陷,从而使检查运行速度更快,准确性更高。201具有最先进的环境控制检查系统之一,可通过减轻振动和其他环境影响来提高图像质量。此外，KLA/TENCOR 201在条件条件下，即使在高温和极端湿度下也是可靠的。这使它具有极高的准确性和对结果的信心,这对于制造过程至关重要。总体而言，KLA 201模型是一种为制造目的检查口罩和晶片图样的创新和高效方法。该设备装有使其成为面罩和晶片检查的工业系统的特性。