二手 KLA / TENCOR 2111 #293642296 待售

KLA/TENCOR 2111是一种精密的掩模和晶片检测设备，设计用于快速筛选光掩模和晶片。利用全场区域扫描检测光掩模设计和光刻工艺层中的关键缺陷，使其成为掩模、晶圆制造和工艺控制的理想选择。KLA 2111配备了一个高分辨率的数字成像系统，在整个视场上捕获图像数据。然后通过算法校正和模式识别的高级光阵列处理这些数据，以识别缺陷。除图像分析外，该装置还具有一个铰接显微镜，能够对关键缺陷进行微创。该机器能够检查任何厚度的层,并且可以检查尺寸最大为4.20英寸（10.6厘米）的层。它能够检测和测量8到809 µm的图样，可检测到5 µm的细微特征。此外，它还具有0.5微米的细线分辨率，用于先进的掩模和晶圆缺陷检测。TENCOR 2111还配备了直观的软件，便于导航和全面的结果分析。这种直观的软件确保了掩模和晶圆质量控制过程的准确性和可靠性。软件还允许在工厂的多个区域中存储和共享数据,这有助于最大限度地减少缺陷分析和报告所需的时间。该仪器用途广泛，可以多角度执行几种不同的检查类型，包括光源和暗场，以检测可能导致生产严重延误的缺陷。它还提供了高精度和可重复性，在检查的表面数据，和质量标准认证方面。此外,它还能够检测封闭模式、开放模式和多层模式。2111是口罩和晶圆制造及过程控制的理想工具,提供高质量的结果和易于使用的软件。该资产具有广泛的应用，使其适合各种高端光刻工艺。