二手 KLA / TENCOR 2111 #9082266 待售

KLA/TENCOR 2111是KLA Corporation的一款前沿掩模和晶圆检测设备，使用投影光学器件检测高度密集集成电路上的缺陷。该系统采用先进的计算技术来提供无与伦比的精度来检测掩模和晶片层上的缺陷。该装置采用180W超短脉冲激光器和专利ProScanIA™微光头，以获取晶圆和掩模表面的高分辨率2D覆盖层。它的5X投影光学器件为晶圆和掩模表面创建了高度精确的自上而下的图像，以极高的精度揭示了缺陷。KLA 2111还具有高速图像采集机，该机捕获蒙面图像和未蒙面图像，并执行大量图像处理算法。这些算法能够在单个检查周期中检测和分类有模式的缺陷,这一特性大大缩短了检查时间并提高了产量。该工具包括专有软件,可帮助客户验证和评估其缺陷检查结果。该软件支持一系列定量指标，使用户能够表征其设备结构。为了便于使用,TENCOR 2111还具有高级图形用户界面（GUI）。此GUI允许用户快速生成带有高级摘要的自定义报告,而无需牺牲深入的数据分析。2111结合高分辨率光学、先进的图像处理能力和直观的GUI，创造了无与伦比的掩模和晶圆检测资产。此模型提供了难以置信的详细2D分析,非常适合识别和量化掩蔽缺陷和未掩蔽缺陷。它是半导体制造商和工程师寻求在产品设计生命周期早期实现产量最大化和发现关键问题的理想工具。