二手 KLA / TENCOR 2111 #9410122 待售
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KLA/TENCOR 2111是一种高性能、高分辨率的掩模和晶圆检测设备，可以在高速下提供准确、可重复的结果。该系统旨在检测和分析各种与过程相关的缺陷，包括线和空间误差、粒子浓度、设计几何误差和亚微米模式缺陷。KLA 2111配备了先进的双波长激光检测单元，可实现高分辨率和高速缺陷检测。它还具有很大的视野，可以检查多达77mm的基板区域。该机器具有许多可配置的处理参数,允许用户根据自己的特定需求自定义掩码和晶片检查过程。该工具的核心是图像和模式识别软件。该软件配合资产的双波长激光检测模型，准确检测和测量不同工艺相关缺陷的大小、形状和对比度。该软件还可以选择配置一些其他参数，包括自动填充误报对象和对缺陷填充的统计分析。设备还配备了直观、用户友好的界面。它具有图形用户界面（GUI）,允许用户快速轻松地测量和监视与流程相关的缺陷。这样可以方便地监视、报告和分析与过程相关的缺陷,以及根据用户的确切需求自定义检查过程。TENCOR 2111是为工业和研究应用而设计的高性能、高分辨率的掩模和晶圆检测系统。它提供了精确和可重复的高速结果，使其成为在半导体生产、微电子和微机电系统（MEMS）中应用的理想选择。其先进的检测单元、直观的GUI和可配置的处理参数使其成为半导体行业中功能强大且可靠的工具。
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