二手 KLA / TENCOR 2111 #9410123 待售

製造商
KLA / TENCOR
模型
2111
ID: 9410123
优质的: 1995
Defect review system 1995 vintage.
KLA/TENCOR 2111是一种用于测量和监测各种基板表面质量的掩模和晶圆检验设备。该系统能够进行高分辨率、快速和准确的测试,提供纳米级的结果。它是生产环境的完美工具,可提高产量和降低成本。KLA 2111使用双列设计进行真正的图像缝合,结合线性电动机和编码器单元,使循环时间在5 s以下。目前,计算机上可用的最高分辨率为3.1nm。该工具还具有一个可扩展的30位自动化组件,可以在安装后使用其他框架进行升级。资产具有一系列不同的检查技术,以确保最准确的结果。这些包括光学和电气、缺陷检查和制图、空中成像和扫描电子显微镜。根据尺寸、位置和图像对比度识别和隔离缺陷。该模型还提供了先进的数据校正和掩码校正设备,以及为晶圆和模具表面提供高精度分析的3D视觉特征分析软件。TENCOR 2111具有高度高级的用户界面,允许对整个系统进行完全控制。数据采集速度、X射线源、测试限制等参数都可以根据用户需求进行定制。该单元还提供了一个内置的自动对焦,旨在每次都实现快速聚焦和准确的结果。2111设计易于维修,采用模块化设计,便于更换部件。机器还包括一个审计日志,它提供了对刀具进行的所有调整的帐户。总体而言,KLA/TENCOR 2111是先进的面罩和晶圆检验资产。它是所有生产环境中的一个特殊模型,可提高产量和降低成本。该设备具有很高的准确性和可靠性,并具有快速和易于维护的持续运行。
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