二手 KLA / TENCOR 2111 #9410124 待售

製造商
KLA / TENCOR
模型
2111
ID: 9410124
Defect review system.
KLA/TENCOR 2111是一种高速、自动化的掩模和晶片检测设备,旨在通过在大规模集成(LSI)掩模和晶片上快速检测亚微米缺陷来降低成本。这个高度先进的系统采用独特的扫描方法,利用两个摄像头以及高功率光学和算法。第一个CCD相机以低解析度扫描蒙版或晶片,而第二个相机则获得更高的解析度和更详细的扫描。这使设备能够检测到较小的缺陷,并以比传统扫描系统更高的精度跟踪其他数据点。机器还提供了一系列自动缺陷检测和检查,包括边缘缺陷(街道边缘托盘或组件)、颗粒缺陷(灰尘、污垢颗粒和其他异物)、线路缺陷(毛发裂纹和其他电气不连续)和照片编码缺陷(晶圆制造过程中的错误)。该工具可以在几秒钟内识别出这些缺陷,甚至可以区分可见缺陷和不可见缺陷。KLA 2111体积小巧,重量轻,移动性强,非常适合实验室和生产线上的检查。它还提供了多种用户友好的功能,例如直观的触摸屏界面、可调整的可重复性设置以及详细的缺陷分析数据。提供了一系列高科技工具,包括高精度变焦显微镜、微观晶片扫描仪和内置故障诊断工具。TENCOR 2111旨在降低成本,提高晶圆和掩模检测精度,提供一致可靠的结果。它的自动化缺陷检测和检查资产有助于提高吞吐量,缩短检查过程的周期时间,从而加快掩码和晶圆制造的周转时间。此外,它的高性能扫描技术和详细的报告功能有助于确保缺陷的准确性和详细分析。所有这些功能结合起来,使2111成为最有成效和效率的检查系统之一。
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