二手 KLA / TENCOR 2125 #9186027 待售

KLA / TENCOR 2125
製造商
KLA / TENCOR
模型
2125
ID: 9186027
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR 2125是一种面膜和晶片检测设备,为无缺陷生产提供自动晶片和面膜检测和测量。该系统提供高精度光学、全自动晶片和掩模定位、扫描和分析等高级功能。该单元配有消色差缝投影相机和远心投影光学机。狭缝相机提供了更大、更均匀的视野,使工具能够以更高的精度捕捉多层复杂形状。远心投影光学资产可确保其视场上的图像质量一致,从而获得更精确的测量结果。KLA 2125模型使用了一系列算法来检测和测量多种缺陷,包括污染物、粒子缺陷和其他临界粒子。这些算法分析图像并根据检测到的缺陷生成置信度评分。该设备还包括一个内置的高度精确的横向和垂直测量系统。这样可以在晶圆上进行精确和可重复的测量。此外,该单元还具有测量对比度和电路临界尺寸的功能。该机包括VTRF(可变公差参考文件)支持、OCR(光学字符识别)、去除污染物缺陷修复、修复光刻胶缺陷、关键图样填充等高级功能。VTRF功能允许操作员自定义工具以满足其各自的需求和生产需求。该资产还包括一些用户友好的功能,如易于导航的触摸屏显示器、直观的菜单模型以及广泛的图像调整和缩放功能。该设备具有很高的灵活性和可配置性,可以为任何特定应用程序定制该设备。总体而言,TENCOR 2125系统是一个功能强大且可靠的掩模和晶圆检测单元,提供自动扫描、分析和测量。其先进的特点和用户友好的界面使其成为半导体制造和质量控制的理想选择。
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