二手 KLA / TENCOR 2131 #168852 待售

KLA/TENCOR 2131掩模及晶片检验设备是晶片掩模检验、计量、缺陷审查的综合检测系统。为便于使用和高性能设计，该装置提供自动化的图像采集、图像检查和缺陷审查，以确保高产量和过程控制。KLA 2131具有高分辨率CCD摄像头和照明模块,即使在具有挑战性的掩蔽技术下,也能以高精度捕获缺陷图像。这允许用户检测和表征各种缺陷，包括针孔和表面污染物，小至0.02微米。该机还具有自动化的控制工具，能够快速的设备对准，模式匹配，和缺陷识别。这使用户能够轻松地排除和分析有缺陷的掩码,从而确保过程控制和高产率。TENCOR 2131还包括用于晶圆高精度测量的先进计量工具。这种计量工具包括一种精确、高速的光学对准设备，可确保高精度和可重复性。该模型还包括多种先进的测量和表征算法，用于精确测量缺陷图像的参数，包括厚度、表面温度和其他特征。2131还具有直观的用户界面,用户可以在不同的功能之间快速导航并查看图像。此外,掩模和晶圆检测设备可轻松集成到现有系统中,从而实现高速数据交换和高效的机对机通信。综上所述，KLA/TENCOR 2131掩模和晶圆检测系统提供了一整套工具，用于快速准确的掩模检测、计量和缺陷审查。通过自动控制单元和高分辨率CCD摄像头,用户可以准确检测和表征低至0.02微米的缺陷,从而确保高产率和过程控制。此外,它的直观用户界面和与现有系统的轻松集成使该工具高效高效。