二手 KLA / TENCOR 2131 #195227 待售
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ID: 195227
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Wafer inspection system, 8"
UI System
KLA-2252 System
Monitor
Keyboard
Mouse
Printer
Power and signal cable
Robot
X and Y Chuck stage
PC
Power supply: 120 V, 25 A, 50/60 Hz, Single phase
1995 vintage.
KLA/TENCOR 2131是为生产半导体晶片和掩模测试而设计的下一代掩模和晶片检测设备。它结合了先进的硬件和先进的软件，能够在晶圆制造过程中快速准确地检测和表征缺陷。该系统能够以非常高的速度运行，在整个视野中的最大分辨率为50纳米。它包括具有彩色CCD相机、高精度舞台和高强度照明的主子系统。这是一个独特的多功能高分辨率成像单元，覆盖晶圆的两个完整的层称赞。此外，该机利用各种分析工具，如电子束计量，以最大限度地提高检验过程的准确性和可靠性。该工具的直观软件使操作员能够快速有效地设置分析参数并启动测试。其用户友好的检查菜单为操作员提供了一系列选项，包括红外成像、光谱成像、可视化和度量以及缺陷检测。此外,资产的实时数据分析允许操作员轻松查看和评估每次检查的结果。此外,KLA 2131还具有根据行业标准自动分类缺陷的功能。这样可以实现可预测的检查结果,并有助于缩短设备制造过程中的周期时间。它还符合行业安全准则和排放标准。TENCOR 2131非常适合广泛的应用，从晶圆制造到晶圆稀释和掩模成像。其先进的特性和直观的软件使其成为半导体制造和加工的宝贵工具。
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