二手 KLA / TENCOR 2131 #293587730 待售

製造商
KLA / TENCOR
模型
2131
ID: 293587730
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2131是一种掩模晶片检测设备,设计用于精确检测标线和晶片上的大缺陷。它利用先进的高分辨率成像系统,与一个基于物理的模型库相结合,精确识别各种缺陷类型。该单元可以处理各种检查序列,如缺陷审查、掩模对晶片的比较和隔离,使OEM能够快速可靠地检查标线和晶片。该机器配备了高分辨率成像工具,提供卓越的图像对比度,并能够在广泛的动态范围内捕获缺陷。它可以精确地检测到小到几纳米大小的缺陷,并具有处理各种输入材料的灵活性,如薄膜、玻璃晶片、石英晶片和IC晶片。资产中的库模型旨在快速准确地识别各种潜在缺陷类型,从缺少电气组件到许多其他物理缺陷。模型库由基于物理的模型和边缘缺陷、线缺陷、复合缺陷、缺失元素等基本结构模型组成。该库允许用户构建自己的定制模型,甚至在困难的照明条件下检测缺陷,如低强度偏振光。该模型还提供了功能强大的数据分析软件,使用户能够分析图像,并执行各种操作,如数据校正、增强和阴影均衡,以改进对各种材料的缺陷检测。数据分析和缺陷检测软件使OEM能够深入了解根源,评估和分析缺陷,并及时向设计人员提供反馈。KLA 2131是广泛的掩模和晶圆检测应用的理想工具,保证了高精度和吞吐量。其直观的用户界面、强大的库模型和数据分析软件,使得对掩码和晶片的可靠和准确的检查成为可能。它还有助于缩短关键集成电路应用的上市时间。
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