二手 KLA / TENCOR 2131 #293749625 待售
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KLA/TENCOR 2131是一种掩模和晶圆检验仪器。它用于检测用于制造微电子器件的晶片和掩模上的缺陷。该设备设计坚固可靠,能够在各种应用中检查掩模和晶片缺陷,包括模具连接、线束和背面检查。KLA 2131利用高分辨率、多波长扫描电子显微镜(SEM)成像系统检测掩模和晶片上的缺陷。该装置采用专利的屏蔽能源组件(SEA)光屏蔽技术,为操作员提供屏蔽环境,确保准确识别和检查所有缺陷。该仪器配有大功率4kV电子束,可创建高分辨率图像,非常适合检测大小缺陷。TENCOR 2131还利用先进的缺陷检测算法和图像分析来对比晶圆和掩码上的模式,从而能够对各种缺陷进行最准确的检测。该机具有检测不透明、短裤、剥落、像差、空隙、针孔等各种故障类型等缺陷的能力。该工具可用于广泛的应用,包括:图像匹配、集成电路成像、高级模式识别和光刻。该仪器还具有自动晶片载波资产,允许高速自动晶片检查。晶圆载波模型包括一个晶圆多cope,可以编程来同时检测多个区域的缺陷。设备还包括一个监控控制模块来控制仪器的功能和程序。2131是最先进的掩码和晶片检查系统之一,提供高分辨率图像和缺陷检测功能。它的自动化晶圆载波系统为操作员提供了一个更快、更高效的过程,可以更精确地完成。该单元适用于多种应用,包括模具键合、线束和背面检测。
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